Lehrbuch Mikrosystemtechnik: Anwendungen, Grundlagen, Materialien und Herstellung von Mikrosystemen

Norbert Schwesinger; Carolin Dehne; Frederic Adler

Published by Oldenbourg Wissenschaftsverlag 2009

Lehrbuch Mikrosystemtechnik

Anwendungen, Grundlagen, Materialien und Herstellung von Mikrosystemen

Norbert Schwesinger , Carolin Dehne and Frederic Adler

https://doi.org/10.1524/9783486594119

Overview
Contents

About this book

Nach der Vermittlung der mechanischen und fluidischen Grundelemente werden zunächst die sensorischen, generatorischen, aktorischen und mehrstufig sensorischen Wandler beschrieben. Es folgen Kapitel zu den Materialien in der Mikrosystemtechnik sowie zu Herstellungsverfahren für Mikrokomponenten, bevor die Konfektionierung der Mikrokomponenten erläutert und ein Einblick in die Mess- und Prüftechnik von Mikrosystemen gegeben wird. Abschließend werden Entwurf und Entwicklung von Bauelementen, die Umsetzung von Wirkprinzipien und der effektive Materialeinsatz diskutiert. Zu allen Kapiteln und größeren Abschnitten gibt es Zusammenfassungen, eine Übersicht über wichtige Schlüsselbegriffe sowie Hinweise auf weiterführende Literatur. Dadurch ist ein effizienter Einsatz des Buchs als Lehr- und Nachschlagewerk garantiert.

Hochgradig systematisierter, sowohl fachlich als auch didaktisch aufbereiteter Lehransatz auf dem komplexen Gebiet der Mikrosystemtechnik.

Topics

Front Matter Requires Authentication Unlicensed Licensed Download PDF	I
Inhalt Requires Authentication Unlicensed Licensed Download PDF	VII
1 Einführung und Anwendungen Requires Authentication Unlicensed Licensed Download PDF	1
Vorwort Norbert Schwesinger Requires Authentication Unlicensed Licensed Download PDF	V
2 Mechanische Grundelemente Requires Authentication Unlicensed Licensed Download PDF	9
3 Fluidische Grundelemente Requires Authentication Unlicensed Licensed Download PDF	39
4 Wandler Requires Authentication Unlicensed Licensed Download PDF	65
5 Basis-/Substratmaterialien Requires Authentication Unlicensed Licensed Download PDF	163
6 Herstellung der Mikrokomponenten Requires Authentication Unlicensed Licensed Download PDF	255
7 Konfektionierung der Mikrokomponenten Requires Authentication Unlicensed Licensed Download PDF	471
8 Mess- und Prüftechnik (Qualitätsicherungsmanagement) Requires Authentication Unlicensed Licensed Download PDF	505
9 Entwurf neuartiger, mikrostrukturierter Bauelemente Requires Authentication Unlicensed Licensed Download PDF	523
Verzeichnis der Schlüsselbegriffe Requires Authentication Unlicensed Licensed Download PDF	559

Language: German
Publisher: Oldenbourg Wissenschaftsverlag
Audience: Studierende der Elektrotechnik und Informationstechnik
Pages
- Front matter: 10
- Main content: 582

eBook

Published: January 1, 2009
ISBN: 9783486594119

Hardcover

Published: December 15, 2008
ISBN: 9783486579291