Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.

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Prof. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann ist Leiter des Fachgebietes Sensorik an der Universität Paderborn und lehrt Halbleitertechnologie, Messtechnik, Sensorik und Prozessmesstechnik.

Bibliographic Information

Book Title: Mikrosystemtechnik
Book Subtitle: Prozessschritte, Technologien, Anwendungen
Authors: Ulrich Hilleringmann
DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-8351-9022-1
Publisher: Vieweg+Teubner Verlag Wiesbaden
eBook Packages: Computer Science and Engineering (German Language)
Copyright Information: Vieweg+Teubner Verlag | Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH, Wiesbaden 2006
Softcover ISBN: 978-3-8351-0003-9Published: 25 April 2006
eBook ISBN: 978-3-8351-9022-1Published: 13 February 2008
Edition Number: 1
Number of Pages: X, 274
Topics: Electrical Engineering, Electronics and Microelectronics, Instrumentation, Applied and Technical Physics

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Table of contents (7 chapters)

Front Matter

Einleitung

Prozesstechnik

Basisprozesse der Mikrosystemtechnik

Sensor- und Aktoreffekte

Monolithisch integrierte Mikrosysteme

Hybride Systeme

Literaturverzeichnis

Back Matter

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