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Silizium-Halbleitertechnologie

  • Textbook
  • © 2004

Overview

Authors:
  1. Ulrich Hilleringmann

    1. Paderborn, Deutschland

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  • Umfassende Darstellung der Fertigungsverfahren bei der Herstellung mikroelektronischer Schaltungen.

Part of the book series: Teubner Studienbücher Technik (TSTT)

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Table of contents (13 chapters)

  1. Front Matter

    Pages I-XIII
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  2. Einleitung

    • Ulrich Hilleringmann
    Pages 1-4

  3. Herstellung von Siliziumscheiben

    • Ulrich Hilleringmann
    Pages 5-24

  4. Oxidation des Siliziums

    • Ulrich Hilleringmann
    Pages 25-38

  5. Lithografie

    • Ulrich Hilleringmann
    Pages 39-64

  6. Ätztechnik

    • Ulrich Hilleringmann
    Pages 65-90

  7. Dotiertechniken

    • Ulrich Hilleringmann
    Pages 91-118

  8. Depositionsverfahren

    • Ulrich Hilleringmann
    Pages 119-137

  9. Metallisierung und Kontakte

    • Ulrich Hilleringmann
    Pages 138-159

  10. Scheibenreinigung

    • Ulrich Hilleringmann
    Pages 160-170

  11. MOS-Technologien zur Schaltungsintegration

    • Ulrich Hilleringmann
    Pages 171-202

  12. Erweiterungen zur Höchstintegration

    • Ulrich Hilleringmann
    Pages 203-247

  13. Bipolar-Technologie

    • Ulrich Hilleringmann
    Pages 248-261

  14. Montage integrierter Schaltungen

    • Ulrich Hilleringmann
    Pages 262-289

  15. Back Matter

    Pages 290-326
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Keywords

About this book

Grundlage der mikroelektronischen Integrationstechnik ist die Silizium-Halbleitertechnologie. Sie setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchführung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen genügen müssen, um die geforderten Strukturgrößen bis zu wenigen 100 nm gleichmäßig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, Ätzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten integrierten Schaltung - aus Sicht des Anwenders erläutert. Das Buch behandelt neben den Grundlagen auch die technische Durchführung der Einzelprozesse zur Integrationstechnik. Zur weiteren Verdeutlichung des Stoffes wurden in der 4. Auflage Abbildungen und vor allem weitere Übungsaufgaben ergänzt.
"Ulrich Hilleringmann ist mit seinem (...) Buch genau dies gelungen: die komplexe und umfangreiche Materie präzise und doch stets verständlich darzustellen."
Elektronik, 11/2003

Reviews

"Vakuumtechnik und Nasschemie sind eben nicht jedermanns Sache und dementsprechend groß ist der Bedarf an einer verständlichen Einführung in dieses Feld. Ulrich Hilleringmann ist mit seinem jetzt in der dritten Auflage vorliegendem Buch genau dies gelungen: die komplexe und umfangreiche Materie präzise und doch stets verständlich darzustellen."
Elektronik, 11/2003

Authors and Affiliations

  • Paderborn, Deutschland

    Ulrich Hilleringmann

About the author

Prof. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann ist Leiter des Fachgebietes Sensorik an der Universität Paderborn und lehrt Halbleitertechnologie, Messtechnik, Sensorik und Prozessmesstechnik.

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