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- Umfassende Darstellung der Fertigungsverfahren bei der Herstellung mikroelektronischer Schaltungen
- Fertigungsverfahren und Technologien in der Mikroelektronik
- Aktuelle Verfahren der mikroelektronischen Integrationstechnik
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- Siliziumscheiben
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- Ätztechnologie
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Authors and Affiliations
-
Fakultät Elektrotechnik, Informatik, Universität Paderborn, Paderborn, Germany
Ulrich Hilleringmann
About the author
Bibliographic Information
Book Title: Silizium-Halbleitertechnologie
Book Subtitle: Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik
Authors: Ulrich Hilleringmann
DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-8348-2085-3
Publisher: Springer Vieweg Wiesbaden
eBook Packages: Computer Science and Engineering (German Language)
Copyright Information: Springer Fachmedien Wiesbaden 2014
eBook ISBN: 978-3-8348-2085-3Published: 09 September 2014
Edition Number: 6
Number of Pages: XI, 263
Number of Illustrations: 160 b/w illustrations
Topics: Electronics and Microelectronics, Instrumentation, Circuits and Systems